激光祛斑机:激光光刻技术的研究与发展 - 美容院指南 - 美容仪器厂家_超声刀厂家_激光祛斑机_调Q激光_皮秒激光_减肥仪器_北京美容仪器厂家【官网】
全国客服热线:18515988708
售后热线:010-56705208

links / 美容院指南

激光祛斑机:激光光刻技术的研究与发展

2016-11-14 09:56:59来源:点击:

  随着半导体工业的发展,集成电路的特征尺寸越来越小。 依据摩尔定律,在过去的 40 年里,集成电路的特征尺寸以每3 年 30%的速率减小。 根据半导体发展联盟的路线图,半导体器件的特征尺寸将继续缩减到 32nm、22nm、甚至 16nm。 伴随着特征尺寸的减少,器件的运算速率将增加,功耗会低。由于器件的集成密度将直接制约着器件的运行性能,因而, 光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体工业的发展和半导体器件的性能。为了满足半导体器件制备的需求,光刻技术将面临新的挑战。激光光刻可以分为激光投影式光刻和激光无掩膜光刻技术。传统的激光投影式光刻技术是基于光学曝光法,其曝光技术最终制约着光刻工艺的分辨率。

  上图为利用激光光刻技术在头发表面雕刻的图案。

  激光无掩膜光刻技术是利用激光束在基体的表面直接进行微纳(微米或纳米)图形的制备。这种技术是直写式无接触的加工技术, 因而无需传统曝光辐射式的光掩膜以及纳米压印接触式的模板,也避免了接触时出现的摩擦、粘附污染等问题,近年来受到人们的广泛关注。

  半导体工业发展的需求,曝光波长的缩短沿着 436nm(g 线)→365 nm(i 线)→248 nm(KrF)→193 nm(ArF)→157 nm(F2)→13.5 nm(极紫外光)的路线进行着。曝光光源也经历着高压水银弧光灯(g 线和 i 线光源)→KrF、ArF、F2受激准分子激光器的变迁。 到下一代极紫外光刻将主要采用依靠激光和气体放电产生的等离子体极紫外光光源。

  一些新技术如自组装(self-Assembly)和纳米压印(Imprint)技术也正受到关注;但还需要更大的努力来克服其技术上的挑战; 极紫外光刻是最被看好的用来解决 22 nm 技术节点的投影光刻技术, 也将是实现 16 nm 节点技术生产的有力竞争者。

推荐阅读

友情链接
调Q激光
超声刀厂家
激光祛斑机
杭州会务公司
常见问题
e光和OPT脱毛美容仪器效果怎么样
多功能光子嫩肤美容仪一般市场价是多少
多功能美容仪360LIFT点线面结合一机多用
全能e光美容仪器性价比高 无需购置多台仪器
美容院指南
厂家教你如何去除黑眼圈
冰点激光脱毛在美容市场的前景分析
激光祛斑机:激光光刻技术的研究与发展
激光祛红血丝是否能够彻底清除,会不会有后遗症
项目合作

北京智高创美科技发展有限公司 京ICP备15012721号-1 
总部   电话:010-56705898   地址:大兴区金星西路地铁高米店南站B1口绿地中央广场A座九层

广州分公司   电话:13922166767 020-37277221  地址:广州市 天河区 林和中路146号天誉花园 二期 C座2601室
上海分公司   电话:18519081007  地址:上海市 闵行区七宝宝龙城T3座(瑞铂中心)8楼807室

 

地图:XML地图 防伪查询